主动隔振平台stacis iiic
主要功能介绍：
概述 stacis iiic是stacis iii**主动隔振系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。 stacis iiic非常适合在没有或地板很低的活动地板上使用，因为标准stacis iii系
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详细信息
概述
stacis iiic是stacis iii**主动隔振系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。
stacis iiic非常适合在没有或地板很低的活动地板上使用，因为标准stacis iii系统的高度会使仪器过高。
在三隔离器配置中，隔离器高度小于常规stacis iii高度的60％。在具有3个以上隔离器的系统中，高度将在60％到70％之间，具体取决于有效负载设置。有关详细信息，请参见下面的规格。
stacis iiic优势
与常规stacis iii系统相比，隔离器高度**多降低42％，而性能却没有降低。
stacis比空气隔振器坚固数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架，与主动空气系统不同，stacis可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方，使两个系统都在**状态下运行。
独特的串行设计和专有的高力压电技术
可实现0.6 hz至150 hz的宽主动带宽和从2 hz开始减振90％的**主动隔振性能。
性能
4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at vc-c
(500 μin./s, 12.5 μm/s rms)
性能规格
规格
| 主动自由度 | 6 |
| 主动带宽 | 0.6 hz - 150 hz |
| 被动固有频率 | 18 hz垂直和水平 |
| 有效的主动共振频率 | 0.5 hz |
| 1 hz时的隔振 | 40% - 70% |
| ≥2 hz时的隔振 | ≥90% |
|
10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间 （减少10:1） |
0.3秒 |
| 内部噪音 | <0.1 nm rmsd> |
| 每个隔振器的工作负载范围 |
低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克） 中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克） 高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克） |
| 刚度（1000磅/454千克质量、中等承重能力隔振器） | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
| 从距离隔振器**4英寸（102毫米）处发射的磁场 | <0.02 μg broadband rmsd> |
隔振器设计、尺寸、环境和效用要求
| 环境和安全 | 符合ce和rohs标准 |
| 主动隔振元件 | **小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 vdc。垂直执行器支撑隔振的有效载荷 |
| 被动隔振元件 | 单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源） |
| 振动传感器元件 | 向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压 |
| 主动反馈控制回路 | 在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动 |
| 隔振器尺寸（宽x深x高） |
14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm * unloaded height. loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height. |
| 隔振器重量 | 53磅（24千克） |
| 工作温度 |
50° - 90° f 10° - 32° c |
| 储存温度 |
-40° - 130° f -40° - 55° c |
| 湿度 | 30 - 60% |
| 系统电源要求 |
100、120、230、240 vac 50/60 hz ac； <600 w 符合ce标准 |
| 地面位移 | <480 μin. (12 μm) below 10 hzd> |
| 每个系统的隔振器数量 | 至少3个 |
| 可选附件 | 层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩 |
dc-2020控制器规格
| 尺寸（宽 x 深 x 高） |
19 x 8.5 x 1.75英寸 483 x 216 x 45 mm |
| 重量 | 6.3磅（2.9千克） |
| 处理器 | 150/75 mhz双核 |
| 采样率 | 10 khz |
| 模拟输出 | 16个通道 |
| 模拟输入 | 16个通道 |
| 状态灯 | 单个led |
| 前面板端口 |
1个串行usb 2.0 1个串行micro-usb 1个以太网rj-45 2个bnc |
| 后面板端口 |
1个串行usb 2.0 1个以太网rj-45 1个rs-232 db-9传统串行，用于传统的stacis 2100隔振器 |
| 用户界面 |
前面板液晶显示屏 超级终端上的字符菜单 适用于microsoft windows的扩展gui 嵌入式以太网gui |
stacis用户及应用领域
1、微电子、半导体
▪ 晶片检测
▪ 显微光刻技术
▪ 掩膜校准
2、科学研究、纳米技术
▪ sem、tem
▪ stem、spm
3、激光台
▪ 生命科学、药物研发
4、工业应用
▪ 精密加工
为什么要选择主动系统？
▪ 从<1hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振
▪ 提高质量、生产量
▪ 更加细小特色的成像能力
▪ 前沿研究
▪ 比气动平台更稳定
▪ 满足sem标准地点安装参数的**j9九游会登录入口的解决方案
▪ 使得新实验室及研究设备的工程造价更低
主动系统为何选择stacis
▪ 正中了科研者的的心声，提供了尽可能**的无震环境。
▪ 市场上**强劲的低频隔振系统。
▪ 目前所有的sem厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。
▪ stacis**发明于1990s，经tmc进一步发展，开发和安装了数以千计的主动隔振系统，这是主动隔振控制领域的提供的可靠j9九游会登录入口的解决方案。
stacis相比气动隔离器刚性大几百倍
稳定时间作为对扰动的响应，由于独特的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。
如下优势在业内都是**的
▪ stacis的主动隔振带宽为0.6hz -150hz
▪ 6个自由度的主动震动消除，在1hz时隔振8-10db
▪ 从2-3hz时，隔振可达90% (20db)
专业的环境调查
1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波
2、安装后可提供环境系统体系认证
▪ 完善的环境调查服务
▪ 开具专业环境报告
▪ 提供震动、磁场、声波检测及j9九游会登录入口的解决方案
▪ tmc基于其广泛经验向用户推荐实用性方案
▪ 40多年的行业经验，业内的**
应用照片
